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【97】改造UV蚀刻机,DUV光刻机登场(2 / 2)

加持下,进行蚀刻,就可以制造出精密芯片。”

“不过这样制造出的芯片精密程度其实很一般,精度在一千纳米的级别。”

“无法满足我对芯片的真正要求,只能对其进行改造。”

二壮和小六两人对视一眼,眼神中都闪烁着惊骇。

他们虽然没咋听懂,但尺寸单位是明白的!

一千纳米,那已经是肉眼根本无法分辨的精密程度!

这种细致程度,竟然都不能满足陈工的要求!

简直离谱!

小六弱弱的道,

“那陈工,您这是改造成功了?”

“对,总算是搞定了!”

陈泽点点头,心情不错,继续给两人讲解道,

“经过改造后,仪器的内部结构和精度都进行了极大的优化。”

“最主要的是,原先汞灯产生的紫外光源被我更换成准分子激光的深紫外光源,也就是duv光源,使用这种光源蚀刻硅片能拥有更高的精度!”

“同时我将浸入技术集成到了仪器里。”

“现在这台仪器,不应该叫uv蚀刻机,应该叫它dvu光刻机。”

二壮和小六两人同时浑身一震。

尽管他们不明白光刻机代表什么,但从陈工那压不住的嘴角就能知道,这东西绝对不简单!

二壮小心翼翼道,

“那那那现在这台dvu光刻机的精度是?”

陈泽耸耸肩,无奈道,

“受材料和工艺限制,很可惜,只能大概达到120纳米。”

“120纳米!”

二壮猛灌一大口冷气,惊呼出声。

表情几乎凝固。

眼神呆滞。

嘴巴张大,嘴角都要裂开了。

他作为技术人员,对于纳米这个单位非常了解!!

120纳米,无法想像那得有多么微小!

简直达到了人类能探索的精度极限!

小刘也惊的眼球巨震。

嗓子里像是卡了什么东西,上不来气了!

陈泽稍微停顿了一下,喃喃道,

“duv深紫外光源不是光刻机的尽头,euv极紫外光源才是光刻机真正的未来,咱们要走的路还长!”

说到这,看向二壮,

“二壮,多叫几个人,将这台duv光刻机平稳的吊装到外面,我要把它装进直20。”

“是!”二壮猛的站直,朗声回应。

半小时后,在一伙人努力下,duv光刻机安稳的装进了直20货舱。

满满当当,再多一点也装不下了。

当然,这也是陈泽提前考虑了外形尺寸,在改装的时候,特殊留意。

dvu光刻机虽然不如euv光刻机那么精密,也受不了太大扰动。

平常的道路运输过于颠簸,肯定不行。

使用这台直20,刚好合适。

陈泽没有继续在奉都兵工厂这边逗留,和二壮六子他们交代一番,登上直20。

一键启动,轻拉操控杆。

直升机缓慢上升,远离地面,带着轰鸣飞向远空。

不到10分钟,飞抵废旧船坞上空。

陈泽目光透过前挡风玻璃看向斜下方。

船坞厂区的一处空地上,亮着一圈红色地灯。

巨大醒目的‘h’停机标志赫然出现在地灯中央。

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